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  • PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥
    PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥

    PRECESS普瑞賽思高真空保護閘閥(V60系列)已經在各種工藝條件下安裝在數百種要求苛刻的應用中,證明了其出色的可靠性。它們已成為DN 63-320 mm尺寸的任何高壓隔離要求的標準。

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  • PRECESS普瑞賽思高真空閘閥
    PRECESS普瑞賽思高真空閘閥

    PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21帶保溫套)配備了VATLOCK技術,該技術是專門開發的,可在閘門密封處提供可靠的密封而不會產生任何摩擦。VATLOCK機構還可以防止閥門故障,這要歸功于關閉端位...

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  • PRECESS普瑞賽思高真空閘閥
    PRECESS普瑞賽思高真空閘閥

    PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21系列3位)通用于研究和工業中的超高真空隔離應用。特別適用于泵的隔離。

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  • PRECESS普瑞賽思高真空閘閥
    PRECESS普瑞賽思高真空閘閥

    PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21系列)配備了VATLOCK技術,該技術是專門為提供可靠的密封而開發的,在閘門密封處沒有任何摩擦。VATLOCK機構還可以防止閥門故障,這要歸功于關閉端位置的機械...

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  • PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥
    PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥

    PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥(V20系列)配備了VATLOCK技術,該技術是專門為提供可靠的密封而開發的,不會產生任何摩擦,從而避免了顆粒的產生。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥(V78系列)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥(V73系列)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥(V72系列)適用于半導體制造(SEMI)生產系統中裝載鎖定室與工藝腔室之間的隔離。適合諸如蝕刻或化學氣相沉積等腐蝕性工藝。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列L型四開口)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列雙開口)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥(V70系列)適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或化學氣相沉積(CVD),其技術采用單軸氣動執行器驅動的L型運動。在L型運動中,隔板垂直移動到關閉位置——無需與閥體接觸——然...

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥(V77系列)L-Motion密封與傳輸閥不同,只有一個真空室用于裝載或處理。因此,門的另一側始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應用量身定制的...

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  • PRECESS  L-Motion 移位傳輸門閥
    PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥

    PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝,如蝕刻或 CVD,通過單軸氣動執行器對閘門進行 L 型運動的技術。在 L 型運動中,閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...

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  • PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥
    PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥

    PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥(AB系列)提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各種過程中進行壓力控制的理想解決方案。板充當節流元件...

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