PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）

為了最小化顆粒生成和激活，隔板上安裝了插入式O形圈密封，硫化密封件是一種選擇。這是一種高度可靠且比標準O形圈密封更耐用的密封解決方案，盡管標準O形圈密封也可作為選項提供。軸通過高耐用金屬焊接波紋管進行密封。

在斷電情況下，V70可以在關閉位置機械鎖定。 已經在各種半導體、太陽能和工業生產過程中的數百個苛刻應用中安裝使用，V70系列已證明了其很好的可靠性。憑借其堅固的設計以及簡化和易于維護的特點，V70系列在各個方面都令人信服。

V70換向閥始終根據客戶規格定制。盡管如此，四種基本設計類型是預定義的：兩種具有不同后側開口的閥門類型和兩種具有內部或外部腔室閥座的插入類型。

閥體材料選項包括鋁、硬陽極氧化、鎳鍍層或不銹鋼。閘門和蓋子密封件為FKM或FFKM。其他密封材料可根據要求提供。

特征：

l半標準應用（半 E21-94 半 E24-92 半 E21.1-1296）

l低振動。獲得認證的L形運動連桿和執行器中無彈簧的雙換檔可實現更快的速度

l更平穩的氣動執行器

l機械鎖處于關閉位置

優點：

l焊接波紋管執行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

應用：

l半導體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）

技術參數