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Alicat MCD雙閥雙向氣體質量流量計控制器可以控制質量流量,體積流量,或氣體壓力。雙向同時測量流量,壓力,溫度。

使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質量流量控制器配備氣動截止閥，可用于控制真空應用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質量流量或壓力。可以控制腐蝕性氣體。

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質量流量控制器可以同時控制質量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時測量多達 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質量流量控制器可以在可用系統壓力非常小時（壓降低至 0.07 PSID）時控制兩個方向的質量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質量流量泵控制器很容易與現有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨的PID控制器即可實現自動化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。 該精密控制器讀取質量流量在40毫秒，并發送數字信號，以控制泵在140毫秒。控制器兼容高達200 cP的氣體和液體，流速高達300 kg/h。

使用Alicat艾里卡特CODA KC系列質量流量控制器在非常困難的操作條件下進行高精度控制。 CODA 控制器與各種液體和氣體（包括許多腐蝕性物質）兼容，并在高達 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。

Alicat艾里卡特MCE系列真空質量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置。控制 98 多種氣體的質量流量或壓力。