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產品中心PRECESS普瑞賽思普瑞賽思真空閥門V80系列PRECESS普瑞賽思高真空擺閥
產品簡介
PRECESS普瑞賽思高真空擺閥（V80系列）是特殊類別的隔離控制閥，其中真空門通過旋轉運動移出開口橫截面。通過非常精細的電導控制，為工藝室下游壓力控制提供了標準解決方案。特點：設計緊湊，振動小，啟閉平穩，避免過程中產生顆粒。
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產品分類| 品牌 | 域勢科技 | 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
|---|
PRECESS普瑞賽思高真空擺閥（V80系列）
V80高壓擺式隔離閥具有可靠的隔離性能，同時具有低顆粒數和低顆粒活化率。優秀的顆粒性能是通過極其平穩的打開和關閉運動實現的。
它非常適合蒸發器和濺射應用等惡劣工藝中的隔離要求。V80閥門提供3位氣動單動關閉彈簧或標準氣動單作用關閉彈簧。
憑借其特殊的分體式設計，它允許在不拆卸管道連接或工藝室連接的情況下進行維護。其纖薄的設計允許將V80直接安裝到工藝腔室中，從而消除了腔室-閥-泵連接中通常所需的體積。
V80系列已經安裝在世界各地數百個批次和各種工藝條件下的在線生產系統中，在各個方面都證明了其出色的性能。
V80高壓擺式隔離閥有鋁制、硬質陽極氧化或鍍鎳兩種材質，并配有ISO-F、ASA-LP和JIS標準法蘭連接器。可以集成客戶特定的法蘭。其他選項包括用于粗加工（旁路）、通風或儀表、加熱溶液的端口，以及硼硅酸鹽或藍寶石玻璃板上的窗口。
特征
l半標準應用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l運行時無沖擊，振動最小
l旋轉饋通
lDN200至DN550，帶FKM O型圈閘門密封
優點
l鑄造和切割鋁材閥體
l分體式機身設計，維護快捷方便
應用
lFPD，一般真空處理
l腐蝕性加工要求
PRECESS普瑞賽思高真空擺閥（V80系列）
技術參數
尺寸 | DN200 to DN550mm | |
執行器 | 氣動 | 單動帶合閘彈簧（NC） |
閥體材質 | 鋁 | |
饋通 | 旋轉饋通 | |
標準法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
壓力范圍 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar（abs） | |
壓差 | On the Gate | ≤ 1.2 bar |
At opening | < 30 mbar | |
循環至first使用 | ≥200,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質 | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
饋通（與媒體接觸的部件） | AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9500 |
閥門 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9500 | |
安裝位置 | 任意 | |
電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（其他應要求） | |
位置指示器：觸點額定值 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-50 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 6 mm |
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