PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進(jìn)氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。

產(chǎn)品型號(hào)：V41系列

更新時(shí)間：2025-06-18

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：168

產(chǎn)品咨詢 19857113161

product

產(chǎn)品分類

PRECESS普瑞賽思

普瑞賽思真空閥門(mén)

tel-phone

15796516293

查看全部

article

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹在線留言

品牌	域勢(shì)科技	應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子/電池,電氣

PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）

該產(chǎn)品采用集成式控制器設(shè)計(jì)，它將控制器與閥門(mén)本體集成在一起，減少了外部布線和連接的復(fù)雜性，提高了系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性，同時(shí)也便于安裝、調(diào)試和維護(hù)。

特點(diǎn)

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296）

l無(wú)顆粒，提供極其干凈的理想進(jìn)氣室

l100萬(wàn)個(gè)使用壽命周期

l高真空角閥

l氣動(dòng)執(zhí)行器，雙作用

l智能模塊化設(shè)計(jì)，易于維護(hù)

選項(xiàng)

l白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化表面處理

l可定制開(kāi)口尺寸

l各種O型圈[Kalrez、Chemrazetc.]

應(yīng)用

l半導(dǎo)體加工

l所有CVD工藝（包括MO、PE、HDP、LP和AP）

l太陽(yáng)能工藝制造

l所有其他集群和內(nèi)聯(lián)真空系統(tǒng)

PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）

技術(shù)參數(shù)

執(zhí)行器			氣動(dòng)
閥體材質(zhì)			不銹鋼
饋通		不銹鋼	波紋管
饋通		陽(yáng)極氧化鋁	O型圈軸
標(biāo)準(zhǔn)法蘭			ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS
泄漏率		不銹鋼	< 1 × 10-9 mbar l/s
泄漏率		陽(yáng)極氧化鋁	< 1 × 10-9 mbar l/s
壓力范圍		不銹鋼	1 × 10-8 mbar to 2 bar
壓力范圍		陽(yáng)極氧化鋁	1 × 10-8 mbar to 1.2 bar
閘門(mén)開(kāi)啟方向的壓差			≤ 1.2bar
閘門(mén)關(guān)閉方向的壓差			≤ 1.2bar
開(kāi)口處的壓差			≤ 1bar
first使用前的生命周期		不銹鋼	≥300,000
first使用前的生命周期		陽(yáng)極氧化鋁	≥100,000
溫度	不銹鋼	閥體	≤ 150 °C
		閥門(mén)	≤ 150 °C
		執(zhí)行器	≤ 120 °C
	陽(yáng)極氧化鋁	閥體	≤ 150 °C
		閥門(mén)	≤ 150 °C
		執(zhí)行器	≤ 120 °C
材質(zhì)	不銹鋼	閥體	AlSI 304 (1.4301)
		閥門(mén)	AlSI 304 (1.4301)
		閥帽	AlSI 304 (1.4301)
	陽(yáng)極氧化鋁	閥體	EN AW-6061（3.3211）
		閥門(mén)	EN AW-6061（3.3211）
		閥帽	EN AW-6061（3.3211）
表面處理	不銹鋼	閥體	電解拋光
		閥門(mén)	Bare
		閥帽	電解拋光
	陽(yáng)極氧化鋁	閥體	白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化
		閥門(mén)	白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化
		閥帽	白色硬質(zhì)陽(yáng)極氧化
密封		不銹鋼	FKM（Viton®）或根據(jù)要求
密封		陽(yáng)極氧化鋁	FFKM（Kalrez®9500）
安裝位置			任意
電磁閥			24 VDC或應(yīng)要求
位置指示器		類型	簧片開(kāi)關(guān)
		電壓	12V/24VDC或應(yīng)要求
		電流	5-50 mA
		連接器	AMP 4P mate/D-Sub 9P male
壓縮空氣連接			快速連接器O.D. 4 mm